CZ硅中间隙铁沾污的沉淀规律

全部作者：曾俞衡 席珍强 杨德仁第1作者单位：浙江大学材料系硅材料国家重点实验室论文摘要：铁琌趾い程盽见??属猤γ??趾い?间回态?蝋?蔨㎝↖锗?Α???誹и们┮???们对铁↖锗??╯?璶栋い?区翰趾??对??┰趾い铁↖锗︽为?ぃ?だ睲贰?セゅ硄过?╯?┰单垂趾い?间回铁浓??变て来?╯铁?↖锗规??и们发现炊硄?┰单垂趾い铁↖锗规?显帝ぃ??区翰趾い?铁↖锗规???┰单垂趾い铁?↖锗硉瞯随着热处瞶温??ど蔼τ糤??ぃ??着程?硉瞯?↖锗温????硄过Ham猭则进︽拟??发现?┰单垂趾い铁?↖锗?扩床???↖锗?华?次状?这???┰单垂趾铁?↖锗规?蒓间回??关?炒Τ关?进?˙?╯???间回铁?会玃进间回??↖锗?关键词：Ham猭则?扩床???micro-PCD?SIRM?FTIR (浏览全文)发表日期：2006年10月30日同行评议：

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