光波导环形谐振腔的多圈结构研究

全部作者：王世军 马慧莲 金仲和第1作者单位：浙江大学信息与电子工程系论文摘要：谐振式微光陀螺（R-MOG）是基于Sagnac效应的1种高精度的惯性传感器。计算显示作为R-MOG的核心敏感器件的'环形谐振腔在损耗允许的前提下引入多圈结构可以提高陀螺的极限灵敏度。利用低压化学气相沉积技术首次设计加工了两圈硅基光波导环形谐振腔。测试表明单圈和两圈光波导环形谐振腔的清晰度分别为50.8和20.0，清晰度的下降是由于0.899dB的大交叉点损耗引起的。进1步分析可知，当多圈环形谐振腔的交叉损耗减小到0.3dB时，通过引进多圈结构就能获取光波导环形谐振腔的极限灵敏度。关键词：谐振式微型光学陀螺；波导环形谐振腔；交叉波导；极限灵敏度 (浏览全文)发表日期：2008年01月16日同行评议：

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