溅射功率对Ca2Si薄膜性质的影响
全部作者:任雪勇 谢泉 杨吟野 肖清泉 杨创华 曾武贤 梁艳第1作者单位:贵州大学 电子科学与信息技术学院论文摘要:采用射频磁控溅射技术在Si(100)衬底上沉积了Si-Ca-Si薄膜,并在高真空条件下对样品进行退火处理,直接生成立方相Ca2Si薄膜。研究了不同溅射功率对薄膜的晶体结构、表面(断面)形貌的`影响,并对其光学性质进行了测试分析。结果表明:Ca2Si薄膜为立方结构且具有沿(111)向择优生长的特性,当溅射功率为120W时,Ca2Si薄膜变的均匀、致密,在 4000Å -8000 Å波长范围内,溅射功率对折射率n和吸收系数k的影响较小。关键词:射频磁控溅射,Ca2Si薄膜,溅射功率 (浏览全文)发表日期:2007年07月12日同行评议:
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