基于ANSYS的LiTaO3薄膜红外探测器热分析
全部作者:谢明君 黄大贵 张德银 董政第1作者单位:电子科技大学机械电子工程学院论文摘要:本文利用有限元软件ANSYS对LiTaO3薄膜热释电红外探测器进行热分析,改变敏感元绝热层的厚度,绝热层的`热导率,基底的厚度及衬底材料,并给出不同参数的热分析结果对比。分析结果表明,探测器的响应随绝热层的厚度增加而增加,随绝热层的热导率降低而增加,在硅,镍,蓝宝石3种基底材料中,使用蓝宝石的探测器的响应最大(响应信号最大/响应效果最佳),在有2 绝热层(绝热层厚度为2 )的情况下,基底的厚度对探测器的响应的影响很小,可以忽略不计,对探测器的设计具有指导意义。关键词:ANSYS LiTaO3 热释电 薄膜 热分析 (浏览全文)发表日期:2008年03月24日同行评议:
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