SiC衬底上SiCGe外延薄膜的结构分析
全部作者:陈治明 李连碧 林涛 蒲红斌 李佳 李青民第1作者单位:西安理工大学论文摘要:用SEM和TEM对热壁化学气相沉积法(HWCVD)在SiC衬底上外延生长的SiCGe薄膜进行了结构分析,发现薄膜生长具有明显的随温度改变的岛状生长特征,且遵循Stranski-Krastanov(SK)生长模式。温度较低时,在生长初期形成的2D生长层的上方,样品具有两种不同的岛状结构:1种是球形结构,另1种是3角型层状堆叠结构。前者形状规则,在样品中占主导地位,后者具有锐利整齐的台阶状边缘,数量较少。随着温度的升高,球形岛逐渐减少,3角岛逐渐增多,且在高温下样品中的3角岛占主导地位。高分辨TEM 分析表明,高温SiCGe/SiC样品的界面清晰整齐,其生长初期形成的2D层厚度达到了40nm,几乎为温度较低时2D生长层厚度的两倍。衍射花样的标定表明:2D层和3角岛为闪锌矿型结构,而球形岛则为金刚石型结构。关键词:SiC;SiCGe;岛状生长;热壁化学气相沉积 (浏览全文)发表日期:2007年07月30日同行评议:
论文研究分析了SiCGe在SiC衬底上外延生长过程中温度对薄膜结构的'影响。有1定的新颖性,对于该领域的研究人员有参考价值。但文中有1些小错误需要修改,如英文摘要中倒数第3行“TED”是否应该为“TEM”。还有,论文最好对实验结果做1些更深入的讨论,这样可以提高论文的学术水平。
综合评价:修改稿:注:同行评议是由特聘的同行专家给出的评审意见,综合评价是综合专家对论文各要素的评议得出的数值,以1至5颗星显示。-
高中音乐教学对学生鉴赏能力的培养
音乐鉴赏需要学生发自内心去感受与品评,让学生明白不同领域都有其自身的魅力与吸引力,高中音乐鉴赏教学的初衷也不例外。【摘要】音乐教学是高中阶段的基础课程之一,通过音乐教学学生可以拓宽知识面,从多角度去认知和了解中华民族的音乐发展历程,并掌握音乐鉴赏能力...
-
企业网站翻译研究现状与发展新方向论文
摘要:以中国企业网站的英译为主要讨论对象,将其置身于目前飞速发展的语言服务大背景下,结合传统的网站文本翻译与网站本地化的过程,讨论在语言服务行业发展背景下企业网站翻译的三大趋势,为我国“走出去”进程中的企业网站建设和翻译提供启示和借鉴。关键词:企业网站...
-
试论文化传播视野中的学报质量诉求
论文摘要:文化的创新发展,在一定意义上是传播方式和传播速度起着重要作用。文化传播有赖于作者提供高质量的信息,学报质量的优劣,作者是一个重要因素,其精髓体现在作者文稿的学术价值。编辑是传播的主体,要旗帜鲜明地表明提倡什么,不提倡什么,同等对待每篇文稿,不偏名家...
-
初中美术教学中师生合作学习策略
初中美术教学实施师生合作学习的策略,既能帮助学生对美术加深理解,在课堂上提高学习效率,还能对美术这门学科形成独特的观点和看法,这对于培养学生的独立思考能力和审美能力有很大的帮助。摘要:随着我国新课改要求的发布,各个科目都需要对教学方式和手段进行改进,对于...